pecvd设备是什么意思
2023-12-18
PECVD设备是什么意思? 1. 什么是PECVD设备? PECVD是一种化学气相沉积技术,是一种用于制备薄膜的技术。PECVD设备是一种专门用于PECVD技术的设备,它可以在真空或气氛下制备各种材料的薄膜,如氮化硅、氧化硅、碳化硅等。 2. PECVD设备的结构和原理 PECVD设备主要由真空腔、气体进口、高频电源、电极和控制系统等组成。在PECVD过程中,将气体通过进口送入真空腔中,然后通过高频电源产生的电场,使气体分解成离子和自由基,然后沉积在基板上形成薄膜。 3. PECVD设备的应用